硅晶片plasma電漿清洗去除表面光刻膠。具有高度的均勻性，穩(wěn)定的刻蝕速率。改變了硅晶片原始鈍化層的形貌和潤(rùn)濕性，大大提高了附著力效果。

金鉑利萊plasma電漿清洗機(jī)越來(lái)越多地應(yīng)用于在半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片中，能夠高容量自動(dòng)化處理多個(gè)硅晶片。

硅晶片plasma電漿清洗除去硅晶片上的氧化物或金屬等污染物，在半導(dǎo)體集成電路制作中提高了集成電路的產(chǎn)量、可靠性和性能。

金鉑利萊有限公司是自主研發(fā)生產(chǎn)電漿清洗機(jī)。不僅針對(duì)于大學(xué)/科研機(jī)構(gòu)、工廠研發(fā)的實(shí)驗(yàn)室型和工廠批量處理裝置，我們生產(chǎn)的plasma電漿清洗機(jī)具有多種規(guī)格、多種配置功能、性能及穩(wěn)定性強(qiáng)且操作方便的特點(diǎn)。

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