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等離子清洗機的清洗分類,作為技術類的文章我們請到了金伯利萊等離子清洗機專家王老師,給網(wǎng)友們分享清洗的分類,小編現(xiàn)在總結下來分享到網(wǎng)站上,希望能幫助大家對等離子清洗機的清洗分類有一定了解!
清洗反應類型分類
等離子體與固體表面發(fā)生反應可以分為物理反應(離子轟擊)和化學反應。物理反應機制是活性粒子轟擊待清洗表面,使污染物脫離表面最終被真空泵吸走;化學反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發(fā)性的物質,再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質。
(1)物理反應
以物理反應為主的等離子體清洗,也叫做濺射腐蝕(SPE)或離子銑(IM),其優(yōu)點在于本身不發(fā)生化學反應,清潔表面不會留下任何的氧化物,可以保持被清洗物的化學純凈性,腐蝕作用各向異性;缺點就是對表面產(chǎn)生了很大的損害,會產(chǎn)生很大的熱效應,對被清洗表面的各種不同物質選擇性差,腐蝕速度較低。
(2)化學反應
以化學反應為主的等離子體清洗的優(yōu)點是清洗速度較高、選擇性好、對清除有機污染物比較有效,缺點是會在表面產(chǎn)生氧化物。和物理反應相比較,化學反應的缺點不易克服。并且兩種反應機制對表面微觀形貌造成的影響有顯著不同。
物理反應能夠使表面在分子級范圍內變得更加“粗糙”,從而改變表面的粘接特性。還有一種等離子體清洗是表面反應機制中物理反應和化學反應都起重要作用,即反應離子腐蝕或反應離子束腐蝕,兩種清洗可以互相促進,離子轟擊使被清洗表面產(chǎn)生損傷削弱其化學鍵或者形成原子態(tài),容易吸收反應劑,離子碰撞使被清洗物加熱,使之更容易產(chǎn)生反應;其效果是既有較好的選擇性、清洗率、均勻性,又有較好的方向性。
等離子清洗機的清洗分類,在物理反應和化學反應想比較下,都有自己的優(yōu)勢和劣勢,但是他們運用的行業(yè)也是有差異的,但是一般物理清洗采用是氬氣等離子體清洗,氬氣本身是惰性氣體,等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應?;瘜W清洗一般采用氧氣等離子體清洗,讓物體表面發(fā)生化學反應生成產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發(fā)物,從而去除表面的污染物。從而來達到清洗目的!
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