等離子清洗機(jī)作用:
(1)表面清洗
材料表面嘗嘗會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層,在粘合、焊接前,需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷燈多種材料。
(2)表面活化
塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等一樣是沒有極性的,因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。在惰性材料表面生成活性基團(tuán),增強(qiáng)表面極性,提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比,不會(huì)損害樣品,同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面,不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣,盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。
(3)表面刻蝕
在等離子刻蝕過程中,通過處理?氣體的作用,被刻蝕物會(huì)變成氣化物(例如在使用氟氣對(duì)硅刻蝕時(shí))。處理?氣體和基體氣化物質(zhì)被真空泵抽出,表面連續(xù)被新鮮的處理?氣體覆蓋。無需刻蝕部分應(yīng)使用相應(yīng)材料覆蓋起來(例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料。)
(4)表面接枝與聚合
在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團(tuán)或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時(shí),采用等離子體接枝的方法來改善。等離子體接枝的原理為:首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán),利用此基團(tuán)與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價(jià)鍵結(jié)合,后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿足應(yīng)用的特定基團(tuán),以達(dá)到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。
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