低溫等離子體中粒子的能量一般約為幾個至幾十電子伏特，大于聚合物材料的結(jié)合鍵能(幾個至十幾電子伏特)，完全可以破裂有機(jī)大分子的化學(xué)鍵而形成新鍵;但遠(yuǎn)低于高能放射性射線，只涉及材料表面，不影響基體的性能。處于非熱力學(xué)平衡狀態(tài)下的低溫等離子體中，電子具有較高的能量，可以斷裂材料表面分子的化學(xué)鍵，提高粒子的化學(xué)反應(yīng)活性(大于熱等離子體)，而中性粒子的溫度接近室溫，這些優(yōu)點為熱敏性高分子聚合物表面改性提供了適宜的條件。不同的放電方式、工作物質(zhì)狀態(tài)及上述影響等離子體產(chǎn)生的因素，相互組合可形成各種低溫等離子體處理設(shè)備。
低溫等離子體技術(shù)具有工藝簡單、操作方便、加工速度快、處理效果好、環(huán)境污染小、節(jié)能等優(yōu)點，在表面改性中廣泛的應(yīng)用。
KHz
每半個周期都經(jīng)歷一次擊穿、維持和熄火的過程，放電不連續(xù)，相當(dāng)于正負(fù)電極交替的直流放電。
與樣品反應(yīng)為物理反應(yīng)，對樣品表面的清洗影響大，多用于表面的除膠，毛刺打磨等，典型的工藝為通入惰性氣體，通過離子轟擊樣品表面。
優(yōu)點：本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，清潔表面不會留下任何氧化物，可以保持樣本的化學(xué)純凈性，1MHz極性變換的連續(xù)放電
13.56MHz
電子在放電空間不斷來回運動，增加了與氣體分子碰撞的次數(shù)，使電離能力提高，擊穿電壓降低，放電比直流條件下更容易自持。
與樣品發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和物理反應(yīng)，兩者都起重要作用并且相互促進(jìn)，離子轟擊使清洗表面產(chǎn)生損傷削弱其化學(xué)鍵或者形成原子態(tài);離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產(chǎn)生反應(yīng)。
KHz和MHz的區(qū)別
物理反應(yīng)-kHz
? 優(yōu)點:不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，清潔表面不會留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性，腐蝕作用各向異性
? 缺點:就是對表面產(chǎn)生了很大的損害會產(chǎn)生很大的熱效應(yīng)對被清洗表面的各種不同物質(zhì)選擇性差，腐蝕速度較低
化學(xué)反應(yīng)-MHz
? 優(yōu)點：清洗速度較高、選擇性好、對清除有機(jī)污染物比較有效
? 缺點：會在表面產(chǎn)生氧化物
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